Przegląd produktu

8-calowy system IBD firmy Nice-Tech specjalizuje się w osadzaniu cienkiej-warstwy w niskiej-temperaturze, wysokiej-gęstości i wysokiej-jednorodności na 8-calowych płytkach. Wykorzystuje technologię napylania z konfiguracją podwójnego-jonu-(napylanie + źródło wspomagające): główne źródło generuje cząstki osadzania, podczas gdy źródło wspomagające umożliwia wstępne czyszczenie na miejscu i zagęszczanie folii.

Wyposażony w obrotowy bęben docelowy z 4-szczelinami (obsługuje do 4 materiałów docelowych) i system kontroli optycznej w czasie rzeczywistym-(monitoruje/reguluje widma folii), opcjonalnie integruje trawienie wiązką jonową (IBE) w celu „trawienia osadzającego” w jednej komorze. Zgodny ze standardami półprzewodników, pasuje do 8-calowej masowej produkcji oraz do badań i rozwoju.

Zalety

Folie o niskiej-temperaturze i-wysokiej gęstości

Tworzy-wysokiej jakości, gęste filmy w niskich temperaturach i-bardzo niskim ciśnieniu. Pozwala to całkowicie uniknąć uszkodzeń płytek i bezpośrednio zwiększa-terminową trwałość urządzenia.

Wszechstronność wielu-materiałów

Wyposażony w bęben docelowy z 4-szczelinami, obsługuje zarówno folie pojedyncze, jak i kompozytowe-pokrywające metale, stopy, tlenki i inne, bez konieczności częstej wymiany tarcz.

Zintegrowane precyzyjne sterowanie

Wybierz IBE, aby uzyskać „wstępne-czyszczenie → osadzanie → trawienie” w jednej komorze. Monitorowanie-w czasie rzeczywistym zapewnia stałą wydajność folii w każdej partii.

Szeroka kompatybilność

Dostosowane do płytek 8-calowych. Wykorzystuje standardowe komponenty, dzięki czemu konserwacja jest prosta, a integracja z istniejącymi liniami produkcyjnymi jest płynna.

Aplikacje

01/

Elementy dysku twardego:Osadza kluczowe filmy (np. twarde warstwy polaryzacji magnetycznej) dla głowic odczytujących HDD (TMR/AMR), zapewniając stabilność magnetyczną.

02/

Urządzenia optyczne:Przygotowuje stosy Bragga i inne folie optyczne do laserów, fotodetektorów i czujników optycznych.

03/

Czujniki precyzyjne:Tworzy warstwy funkcjonalne (magnetyczne, przewodzące) dla MEMS/czujników magnetycznych, zwiększając czułość.0

04/

R&D:Wspiera rozwój nowatorskich folii (kompozyty 2D, folie piezoelektryczne) na uniwersytetach i instytutach badawczych.

Parametry

Kategoria	8-calowy system IBD
Kompatybilność płytek	8- cali (podstawowy); Możliwość dostosowania do częściowych podłoży o specjalnych rozmiarach poprzez dostosowanie procesu
Konfiguracja źródła jonów	Podwójne źródło-jonów- (źródło jonów rozpylających + źródło jonów pomocniczych); opcjonalna funkcja IBE (Ion Beam Etching).
Docelowa pojemność bębna	Obrotowy bęben docelowy z 4 gniazdami (obsługuje do 4 różnych materiałów docelowych)
Temperatura osadzania	Proces w niskiej-temperaturze (zapobiega uszkodzeniom termicznym płytek i wrażliwych urządzeń)
Ciśnienie procesowe	Środowisko o bardzo-niskim ciśnieniu (przyczynia się do osadzania filmu-o dużej gęstości)
System kontroli folii	System kontroli optycznej-w czasie rzeczywistym (monitoruje, analizuje i dostosowuje widmo filmu w czasie rzeczywistym)
Materiały podlegające deponowaniu	Metale, stopy, tlenki i możliwe do dostosowania nowatorskie folie funkcjonalne (np. kompozyty 2D, folie piezoelektryczne)
Integracja procesów	Zintegrowany proces „-czyszczenia wstępnego-osadzania-trawienia” (opcjonalnie, ta sama komora)
Zgodność branżowa	Zgodny ze standardami przetwarzania w branży półprzewodników
Kluczowe komponenty	Międzynarodowe części standardowe (niskie koszty konserwacji, wygodna wymiana części zamiennych)