Przegląd produktu

Wszystkie trzy urządzenia do rozpylania magnetronowego naszej firmy, oparte na technologii PVD, osadzają-wysokiej jakości folie metalowe, dielektryczne i półprzewodnikowe, ale różnią się pod względem zastosowania.

Weźmy przemysłowy model jednokomorowy: został zaprojektowany z myślą o-produkcji na dużą skalę, z wyjątkowym wykorzystaniem celów, co pozwala utrzymać koszty pod kontrolą. Bezproblemowo obsługuje 8-calowe płytki, zapewniając stałą wydajność produkcji przemysłowej.

Dostępna jest także przemysłowa wersja wielokomorowa-, która wykorzystuje modułowe, niezależne komory (np. ogrzewanie, napylanie katodowe i inne) w celu zautomatyzowania całego procesu powlekania.

To przełom-w zakresie masowej-produkcji złożonych, wielowarstwowych-filmów, ograniczającej konieczność ręcznej interwencji. Z drugiej strony maszyna-do celów badawczych została zaprojektowana specjalnie dla uniwersytetów i instytucji badawczych. Oferuje elastyczne konfiguracje,-takie jak rozpylanie wielo-docelowe-w celu obsługi małych-prac badawczo-rozwojowych, zarówno w przypadku materiałów z węglika krzemu, jak i prototypów układów kwantowych. We wszystkich trzech przypadkach trzymamy się naszego zobowiązania dotyczącego „jakości rzemiosła”, upewniając się, że spełniają one zróżnicowane potrzeby przemysłu półprzewodników.

Aby znaleźć najlepsze dla Ciebie rozwiązanie, skontaktuj się z nami.

Aplikacje

Każdy z trzech urządzeń do rozpylania magnetronowego naszej firmy ma swoją własną niszę-, która razem zaspokaja wszelkie potrzeby w branży półprzewodników.

Weźmy przemysłowy model jednokomorowy:-chodzi tu o produkcję na dużą skalę, np. obwodów scalonych. W przypadku przygotowania cienkowarstwowych płytek o grubości 8- jest szybki i stabilny, można go podłączyć bezpośrednio do linii produkcyjnych CMOS/IGBT i bez problemu osiąga zakładaną wydajność i wydajność.

Przemysłowy wielokomorowy-wyróżnia się pełną automatyzacją i solidną integracją. Te skomplikowane, wielowarstwowe-folie do urządzeń 5G i optoelektronicznych? Z łatwością sobie z nimi radzi, spełniając rygorystyczne wymagania dotyczące precyzji produkcji masowej.

Następnie-model ocen-badań, dostosowany do potrzeb uniwersyteckich badań i rozwoju. Obsługuje testy-małych partii nowych materiałów, takich jak węglik krzemu, i działa jako niezwykle elastyczna platforma weryfikacyjna.

Zalety

Każdy z naszych trzech urządzeń do rozpylania magnetronowego zapewnia ukierunkowane mocne strony, dostosowane do różnych scenariuszy zastosowań:

1. Przemysłowy model jednokomorowy:

Osiąga dobre wyniki dzięki wysokiemu wykorzystaniu celów,-bezpośrednio obniżając koszty operacyjne. Podczas przetwarzania 8-calowych płytek zapewnia solidną wydajność; jednorodność folii utrzymuje się w granicach ±3%, łatwo osiągając wymagania wydajności przemysłowej. Ponadto jego prosta konstrukcja sprawia, że konserwacja jest dziecinnie prosta.

2. Przemysłowy model wielokomorowy-:

Modułowe zautomatyzowane komory to jego as w rękawie, znacznie zwiększający wydajność produkcji. Posiada również zaawansowaną kontrolę cząstek, która zapewnia-najwyższą czystość filmu-idealną do tworzenia filmów wielowarstwowych-stosowanych w urządzeniach optoelektronicznych i 5G. Co więcej, jego silne możliwości integracji pozwalają bezproblemowo dostosować się do szerokiej gamy materiałów.

3. Model-ocen badawczych:

Zaprojektowany z myślą o badaniach i rozwoju, oferuje elastyczne konfiguracje, takie jak rozpylanie wielo-targetowe, aby sprostać nowym potrzebom w zakresie opracowywania materiałów. Precyzja-na poziomie mikrometru zapewnia niezawodne wsparcie podczas weryfikacji procesu, a jego-projekt przetwarzania małych partii pomaga obniżyć koszty prób badawczo-rozwojowych-idealnych do eksploracji laboratorium.

Parametry

Przedmiot	Przemysłowy model jednokomorowy-	Przemysłowy model wielokomorowy-	Badania-Model ocen
Odpowiedni rozmiar wafla	8 cali i mniej	6 cali/8 cali	8 cali i mniej
Ostateczna próżnia	8x10-5 Pa	2x10-5 Pa	-
Jednolitość filmu	Mniejsze lub równe ±3%	Mniejsze lub równe ±3%	± 3% (4-calowy obiekt docelowy, 8-calowy wafel)
Kontrola temperatury podłoża	Stopień RT-650 (lub chłodzenie)	-	Stopień RT-600 (ogrzewanie lub chłodzenie)
Prędkość obrotowa stopnia podłoża	-	-	5-20 obr./min
Metoda rozpylania	Rozpylanie pojedynczego-obiektu	-	Pojedynczy-target/wiele-targetów, sekwencyjne/wspólne-rozpylanie
Zasilanie	Opcjonalnie DC/RF/MF	-	Opcjonalnie DC/RF/MF
Kluczowe konfiguracje	Pojedyncza komora procesowa; Mniej niż lub równo 4 działa docelowe	Mniej niż lub równo 5 komór procesowych (ogrzewanie, chłodzenie, napylanie katodowe itp.)	Napylanie wielu-tarczy: wstępna-komora próżniowa (opcjonalnie); przykładowy moduł czyszczący
Obowiązujące materiały	Krzem, związki, ceramika itp.	Krzem, związki itp.	Metale (Al, Au, Cu), dielektryki (SiO2, TaN), półprzewodniki

Często zadawane pytania

Jak wybrać spośród trzech modeli?

Do masowej produkcji płytek 8-calowych (np. CMOS/IGBT) wybierz przemysłowy model z pojedynczą-wnęką; w przypadku złożonych folii wielowarstwowych w 5G/optoelektronice wybierz przemysłowy model wielownękowy; w przypadku badań i rozwoju nowych materiałów na uniwersytetach (np. węglik krzemu) wybierz model badawczy.

Czy obsługuje powłoki z materiałów nie-krzemowych-?

Tak, obsługuje wszystko, w tym ceramikę, półprzewodniki złożone, metale (Al/Au), dielektryki (SiO₂) itp.

Czy można zwiększyć rozmiar wafla?

Wartość domyślna to 8 cali i mniej (6-8 cali w przypadku modelu z wieloma-komorami). Ekspansję na małą skalę można dostosować z wyprzedzeniem, należy jednak ocenić wykonalność procesu.

Jakie są warunki testowania jednorodności grubości folii Mniej niż lub równe ± 3%?

Na podstawie 8-calowych płytek (docelowa 4-calowa + 8-calowa płytka w modelu badawczym), standardowe badanie warstwy metalu/warstwy dielektrycznej. Optymalizacja jest możliwa dla różnych materiałów/grubości folii.

Czy zapewnione jest szkolenie w zakresie instalacji?

Zapewniamy-instalację i uruchomienie na miejscu, a także szkolenie w zakresie obsługi i konserwacji, dzięki czemu zespół może szybko rozpocząć pracę.

Czy sprzęt można później ulepszyć?

Modele wielo-komorowe i modele badawcze można rozbudować o pistolety docelowe/komory-próżni wstępnej; modele z pojedynczą-komorą mają ograniczony potencjał modernizacji, dlatego od samego początku zalecamy jasne określenie długoterminowych-potrzeb.

Jak długi jest cykl dostawy? Czy można to przyspieszyć?

Modele z pojedynczą-jamą/badawcze: 8-12 tygodni; modele wielojamowe: 12-16 tygodni; przyspieszona dostawa podlega negocjacjom i zależy od harmonogramu linii produkcyjnej.

Czy są jakieś zniżki na-koszty konserwacji poprodukcyjnej?

Głównie do materiałów docelowych i materiałów eksploatacyjnych. Materiały eksploatacyjne oferowane są z rabatem większym lub równym 10% przez 5 lat po okresie gwarancyjnym. Zapewniamy również wskazówki dotyczące konserwacji, aby obniżyć koszty.

Popularne Tagi: sprzęt do napylania magnetronowego, Chiny producenci i dostawcy sprzętu do napylania magnetronowego