Przegląd produktu
Zintegrowane urządzenia do wytrawiania Cu-Ti serii SE służą do specjalistycznego trawienia na mokro w przypadku zaawansowanych opakowań półprzewodników-zaprojektowanych do bezproblemowego przetwarzania płytek o średnicy 8–12 cali. Jest to w pełni konfigurowalne rozwiązanie do trawienia metalu, więc możesz je dostosować do swojej konfiguracji: wybierz od 2 do 8 komór i współpracuje z 2–4 nośnikami SMIF POD lub FOUP.
Pod maską kryje się zintegrowane zarządzanie chemikaliami (z obsługą CCSS/LCSS) i niezwykle-solidne sterowanie procesem-z uwzględnieniem precyzyjnego ogrzewania, regulacji stężenia i regulacji przepływu/ciśnienia. Bezpieczeństwo nie jest kwestią drugorzędną: ochrona przed przegrzaniem i wykrywanie nieszczelności są w standardzie, dzięki czemu możesz bezpiecznie wykonywać operacje. Ponadto pełna komunikacja SECS/GEM oznacza, że można go zintegrować z istniejącymi przepływami pracy.
Ostatecznie system ten został zbudowany do jednego kluczowego zadania: wydajnego trawienia warstwy metalu Cu-Ti, dzięki któremu zaawansowane procesy pakowania przebiegają płynnie i niezawodnie.
Zalety
1. Elastyczność formatu i konfiguracji
Obsługuje płytki o średnicy 8–12 cali; 2–8 komór (możliwość dostosowania) w celu dopasowania do skali produkcji.
Przystosowuje się do 2–4 nośników SMIF POD/FOUP, pasując do starszej/nowoczesnej logistyki fabrycznej.
2. Ukierunkowana zdolność trawienia metalu
Specjalizuje się w trawieniu warstw metali Cu/Ti, z opcjonalnymi chemikaliami (trawienie, SC1+Megasonic itp.) w celu dostosowania procesu.
3.Efektywność i-skuteczność
Integruje odzysk chemiczny i sklasyfikowane spaliny (kwasowe/zasadowe/organiczne) w celu zmniejszenia strat materiałowych i kosztów operacyjnych.
Precyzyjna kontrola procesu zapewnia jednolitą jakość trawienia w każdej partii.
4. Bezpieczeństwo i integracja
Wbudowane-zabezpieczenie przed przegrzaniem, wykrywanie nieszczelności i sklasyfikowany drenaż zapewniający bezpieczną pracę.
Pełna obsługa SECS/GEM umożliwia bezproblemowe połączenie z fantastycznymi systemami MES.
Aplikacje
Pole podstawowe:Zaawansowane opakowania półprzewodników.
Kluczowy proces:Trawienie na mokro warstw metalu Cu (miedź) i Ti (tytan) w zaawansowanych procesach pakowania (do modelowania warstw metalu, wytwarzania konstrukcji nośnych opakowań).
Parametry
|
Specyfikacja |
Bliższe dane |
|
Rozmiar wafla |
8-12 cali |
|
Kancelaria |
2-8 komór (wspierające dostosowywanie) |
|
Zgodność przewoźnika |
2-4 POD/FOUP SMIF |
|
Obsługiwane chemikalia |
Wytrawiacz, SC1+Megasonic, DHF, DICO2, N2 (konfigurowalne) |
|
Wsparcie dostaw środków chemicznych |
CCSS, LCSS |
|
Funkcje kontroli procesu |
Kontrola ogrzewania, kontrola stężenia, kontrola natężenia przepływu, |
|
Zarządzanie spalinami |
Oddzielny wylot kwasu, zasady i substancji organicznych |
|
Dodatkowe funkcje |
Odzysk chemiczny; Zabezpieczenie wanny przed przegrzaniem; Przeciek |
|
Protokół komunikacyjny |
SECS/KLEJN |
|
Docelowe pole aplikacji |
Zaawansowane opakowanie |
Często zadawane pytania
P: Jakie rozmiary płytek obsługuje to urządzenie?
Odp.: Jest kompatybilny z płytkami o średnicy 8–12 cali i obsługuje popularne formaty w zaawansowanych opakowaniach.
P: Czy można regulować liczbę komór?
Odp.: Tak-ilość komór można dostosować (2–8 komór) w celu dopasowania do skali produkcji.
P: Z jakimi przewoźnikami to współpracuje?
Odp.: Obsługuje 2–4 nośników SMIF POD/FOUP, dostosowując się zarówno do starszych, jak i nowoczesnych systemów logistycznych.
P: Jakie materiały może trawić?
Odp.: Specjalizuje się w trawieniu na mokro warstw metali Cu (miedź) i Ti (tytan) w zaawansowanych opakowaniach.
P: Czy zawiera funkcje-oszczędności?
O: Tak-zintegrowany odzysk substancji chemicznych i sklasyfikowane spaliny pomagają zmniejszyć straty materiałowe i koszty operacyjne.
P: Czy można go połączyć z systemem MES naszej fabryki?
O: Absolutnie-w pełni obsługuje protokół komunikacyjny SECS/GEM, zapewniając bezproblemową integrację z systemem MES.
Popularne Tagi: wytrawiacz cu i ti, Chiny producenci i dostawcy wytrawiaczy cu i ti
