Pokrycie powierzchni podłoża, takiego jak płytka krzemowa, fotomaską o wysokiej światłoczułości, a następnie napromieniowanie powierzchni podłoża określonym światłem (zwykle światłem ultrafioletowym, głębokim ultrafioletem, ekstremalnym światłem ultrafioletowym) przez maskę zawierającą informacje o wzorze docelowym, fotomaska napromieniowana światłem zareaguje. Dlatego obszar napromieniowany po wywołaniu będzie dawać inne efekty niż obszar nienapromieniowany (w zależności od właściwości fotomaski).
